2026杭州国际半导体及集成电路博览会

时间:2026年4月26-28日
地点:杭州国际博览中心

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半导体 MEMS 微型传感器革新可穿戴医疗设备,高灵敏度感知赋能健康实时监测

来源:2026杭州国际半导体及集成电路博览会        发布时间:2025-09-09

半导体 MEMS 微型传感器革新可穿戴医疗设备,高灵敏度感知赋能健康实时监测

传统医疗传感器存在体积大、功耗高、精度不足等问题,难以适配可穿戴设备 “小型化、低功耗、长续航” 的需求,制约了健康监测的实时性与准确性。近期,基于半导体 MEMS(微机电系统)技术的微型传感器通过工艺优化与结构创新,实现 “超小尺寸、高灵敏度、低功耗” 性能跃升,成为可穿戴医疗设备的核心感知部件,推动健康监测向 “全天候、精准化” 转型。

技术层面,博世推出的 MEMS 医疗级微型传感器,在工艺与设计上实现关键突破:工艺端采用 “硅通孔(TSV)+ 晶圆级封装” 技术,将传感器芯片尺寸缩小至 1.5mm×1.5mm,仅为传统传感器的 1/5,重量不足 1mg,可轻松集成于智能手环、贴片式监测设备中;设计端创新采用 “压阻式 + 电容式双模感知结构”,压阻式模块负责监测微小压力变化(如脉搏波),灵敏度达 0.1Pa,可精准捕捉血管搏动的细微波动,计算心率变异性(HRV)误差控制在 ±1 次 / 分钟;电容式模块则用于监测体温、皮肤阻抗,体温测量精度达 ±0.05℃,皮肤阻抗监测范围覆盖 1kΩ-1MΩ,可辅助判断用户睡眠质量与压力状态。同时,传感器采用 “间歇式采样 + 低功耗芯片架构”,工作电流低至 5μA,较传统传感器降低 80%,配合可充电纽扣电池,可支持设备连续工作 30 天以上,无需频繁充电。

应用场景中,华为某款智能手环引入该 MEMS 微型传感器后,健康监测功能大幅升级。过去,传统手环依赖光学传感器监测心率,运动时易受汗水、晃动干扰,心率误差达 ±5 次 / 分钟,且无法监测血压;如今,MEMS 传感器通过脉搏波传导时间(PTT)算法,结合心率数据可估算血压值,误差控制在 ±3mmHg,符合医疗级标准,用户无需额外佩戴血压计即可日常监测。在睡眠监测方面,传感器通过皮肤阻抗与体温变化,可精准区分深睡、浅睡、快速眼动(REM)睡眠阶段,睡眠分期准确率达 92%,较传统光学监测提升 20%,还能实时捕捉睡眠中的呼吸暂停事件,及时推送预警信息。某三甲医院临床测试显示,搭载该传感器的手环对高血压患者的血压日间监测准确率达 89%,可作为血压管理的辅助工具,减少患者往返医院的频率。

随着 MEMS 传感器向 “多参数集成” 发展,未来将实现心率、血压、血糖趋势(通过皮肤间质液监测)、血氧的一体化感知,配合 AI 健康算法,可提前预警心血管疾病、糖尿病等慢性病风险,为可穿戴医疗设备赋予 “预防式健康管理” 能力,推动个人健康监测进入 “精准医疗” 新阶段。


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